銷售BURKERT在線式傳感器,寶德在線式傳感器
在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱的溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度，
則兩個(gè)溫度傳感器的電壓差即可用于測(cè)量旁路通道內(nèi)流過(guò)芯片的氣體的質(zhì)量流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸，因此具有許多特定的**，
其中之一就是對(duì)于流量變化的響應(yīng)極快。
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間，
且靈敏度*，即使流量很小時(shí)也是如此。
該在線式傳感器為 CTA（恒溫風(fēng)速計(jì)） 工作原理：
控制加熱電阻 (RS) 和測(cè)量電阻 (RT) 之間保持一個(gè)恒定的溫差。
這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi)；另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。
這五個(gè)電阻連接成一個(gè)測(cè)量電橋。
氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測(cè)量介質(zhì)溫度，

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MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測(cè)得的質(zhì)量流量非常**。
由于加熱電阻和測(cè)量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，
所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí)，該傳感器的響應(yīng)時(shí)間極短，
只有幾百毫秒。此外，該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進(jìn)行測(cè)量的在線式傳感器不同，
CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測(cè)量的。
主管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差，使小部分流量進(jìn)入旁路管道。